平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算

平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算

回路

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并

联

谐

振

承

载

能

力

/N

刚

度

/N·m-1

串

联

谐

振

承

载

能

力

/N

刚

度

/N·m-1

备

 

注

C0—— 一个电极在无偏心时的电容，F；ω—— 角频率，rad/s；C—— 一个电极的漏电容，F；f—— 电源频率，Hz； Le—— 等效并联电感，H；Ge—— 等效并联电导，S；ε—— 偏心率；h0—— 转子无偏心时的间隙，m；εr—— 相对介电常数，对真空εr＝1；A—— 电极面积，m2；I—— 电流，A；U—— 电压，V

 

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