平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算

平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算

回路

示   意   图

计   算   公   式

并

联

谐

振

承

载

能

力

/N

刚

度

/N·m-1

串

联

谐

振

承

载

能

力

/N

刚

度

/N·m-1

备

 

注

C0—— 一个电极在无偏心时的电容,F;ω—— 角频率,rad/s;C—— 一个电极的漏电容,F;f—— 电源频率,Hz; Le—— 等效并联电感,H;Ge—— 等效并联电导,S;ε—— 偏心率;h0—— 转子无偏心时的间隙,m;εr—— 相对介电常数,对真空εr=1;A—— 电极面积,m2;I—— 电流,A;U—— 电压,V