静电轴承按支承线路的分类

静电轴承的分类

静电轴承按控制方式分为无源型和有源型两种。由伺服控制使轴承稳定运转的属有源型,靠自身电磁参数调谐,或者采用非调谐的电桥电路,使轴承稳定运转的,属无源型,LC调谐回路与有源型控制回路原理图和特点见下表。静电轴承根据轴颈几何形状可分为平面型、圆柱型、圆锥型和球型

两种静电轴承的比较

线路

名称

LC调谐回路

有源型控制回路

线

E—— 电源电压V

L—— 谐振电感H

C0—— 转子处于平衡位置时的电容量F

U0—— 转子处于平衡位置时的谐振电压V

ΔCΔU—— 由于转子位置变化量Δx引起的电容、电压变化量

1—量测变压器2—高放3—检相

4—校正5—差放6—调制功放

利用转子与支承电极间的电容 C 随间隙变化而变化的特点在线路中串或并入电感 L构成谐振回路

通常使用电容电桥位移传感器测量转子的位移。在测量变压器输出端得到正比于转子位移的信号经放大、检相为直流电压由差放分为两路并调制成交流信号再经功放和高压变压器将电压加到支承电极