静电轴承的分类

静电轴承按控制方式分为无源型和有源型两种。由伺服控制使轴承稳定运转的属有源型，靠自身电磁参数调谐，或者采用非调谐的电桥电路，使轴承稳定运转的，属无源型，LC调谐回路与有源型控制回路原理图和特点见下表。静电轴承根据轴颈几何形状可分为平面型、圆柱型、圆锥型和球型

两种静电轴承的比较

线路

名称

LC调谐回路

有源型控制回路

典

型

线

路

E—— 电源电压，V；

L—— 谐振电感，H；

C₀—— 转子处于平衡位置时的电容量，F；

U₀—— 转子处于平衡位置时的谐振电压，V；

ΔC、ΔU—— 由于转子位置变化量Δx引起的电容、电压变化量

1—量测变压器；2—高放；3—检相；

4—校正；5—差放；6—调制功放

特

点

利用转子与支承电极间的电容 C 随间隙变化而变化的特点，在线路中串或并入电感 L，构成谐振回路

通常使用电容电桥位移传感器测量转子的位移。在测量变压器输出端得到正比于转子位移的信号，经放大、检相为直流电压，由差放分为两路并调制成交流信号，再经功放和高压变压器将电压加到支承电极