静电轴承常用材料及荐用参数

参  数  名  称

荐   用   值

附     注

电参数

外加电压  /V

电场强度  /MV·m^-1

2000~4000

40~50

受击穿场强限制

几何参数

轴承相对间隙  /m

形状误差

表面粗糙度参数  R_a/μm

(2~10)×10^-4

小于间隙值的¹/10~¹/100

＜0.1

按电压和加工精度确定

按仪器要求精度确定最小误差

影响击穿场强

环境参数

真空度  /Pa

常在真空环境，真空度高于1.33×10^-4

真空度低，击穿场强也低

常   用   材   料

壳体或定子

电  极

转  子

金属、陶瓷(Al₂O₃、BeO等)

钢、铜、铝、镍等

铝、铍、石英等